mems传感器也就是指微机电系统，是在电子信息技术基本上发展而来的多学科交叉的最前沿研究领域。历经40余年的发展，已变成全球最受关注的重大尖端科技之一。它涉及到电子器件、机械、原材料、物理、有机化学、分子生物学、医药学等多种多样的课程与技术，具备宽阔的应用前景。

截止2010年，全球有大概600多家企业都参与到mems的研发和生产制造当中，已研发出包含小型液位传感器、瞬时速度感应器、微喷墨打印机喷头、数据微镜显示屏以内的数百种商品，其中，当属mems传感器占非常大的占比。mems传感器是选用微电子技术和微机械生产加工技术生产制造的新式感应器。与传统式的感应器对比，它具备体型小、重量较轻、低成本、功能损耗低、稳定性高、适合大批量化生产制造、便于集成化和完成智能化系统的特性。另外，在μm数量级的特点规格促使它能够进行一些传统式机械传感器所无法完成的作用。

mems传感器的原理

mems的全名是小型电子器件机械系统软件，运用传统式的半导体材料加工工艺和原材料，集微传感器、微电动执行器、微机械组织 、信号分析和控制回路、性能卓越电子器件集成化元器件、接口、通讯和开关电源于一身的小型元器件或系统软件。具备小容积、成本低、一体化等特性。

mems传感器主要应用场景

1、医疗领域

mems传感器可以被应用于微创胎儿心跳检验，检验胎儿心率是一项专业性较强的工作，因为胎儿心率迅速，在每分l20-160次中间，用传统式的听诊乃至仅有变大功效的超声波多谱勒仪，用人力记数难以精确测量。而具备数据表明作用的超声波多谱勒血压监测仪，价格比较贵，仅为极少数医院应用，在中国、中小型医院门诊及众多的乡村地域尚未实现普及。除此之外，超声波震动波作用于胎宝宝，会对胎宝宝造成非常大的影响。虽然检验使用量很低，也归属于不利于检测范围，不适合习惯性、可重复性的查验及家庭场景应用。

2、汽车电子产品

mems液位传感器关键运用在精确测量气襄工作压力、汽柴油工作压力、发动机油工作压力、进气口道工作压力及轮胎压力。这类感应器用光伏电池作原材料，以选用mems技术在原材料正中间制做成力敏脉冲阻尼器，随后在脉冲阻尼器上外扩散残渣产生四只应变力电阻器，再以惠斯顿电桥电路方法将应变力电阻器组合成电源电路，来实现高灵敏。车配mems液位传感器有电容传感器、压阻式、差动保护变电器式、声表面波式等几类普遍的方式。而mems加速度传感器的基本原理是根据牛顿的经典力学基本定律，一般由悬架系统和检验品质构成，根据微硅品质块的偏位完成对瞬时速度的检验，关键用以车辆汽车安全气囊系统软件、地面防滑系统软件、车辆网站导航和防盗报警等，除开有电容传感器、压阻式之外，mems加速度传感器也有压电式、隧道施工电流量型、串联谐振式和热电阻式等方式。在其中，电容传感器mems加速度计具备敏感度高、受溫度危害很小等特性，是微加速度计中的主要产品。微陀螺仪乃角速度传感器，关键用以汽车导航的GPS数据信号补偿和底盘自动控制系统，关键有震动式、电机转子式等类型。运用数最多的归属于震动陀螺仪，它运用光伏电池或光伏电池的震动品质块在被底座推动转动时造成的哥氏效用来传感角速度。比如车辆在拐弯时，系统软件根据陀螺仪精确测量角速度来标示汽车方向盘的旋转是不是准确的，积极在内侧或是外侧的车轱辘上再加上适度的制动系统以避免车辆摆脱行车道，一般它与低加速度传感器一起组成主动控制系统。

3、手机相机行业

在有mems Drive以前，手机镜头是由音圈电机运镜组的方法完成防抖动(通称镜头防抖技术)，遭受非常大的局限性。而另一个在销售市场上较高档的防抖动技术：多轴防抖动，则是运用挪动光学镜头(ImageSensor)补偿颤动，但因为这一技术容积巨大、用电量超过智能手机的负荷，一直没法在手机上运用。

凭借微机电工程在容积和功能损耗上的提升，全新技术性mems Drive相近一贴到光学镜头反面的平面图电机，推动图像传感器在三个转动轴的挪动。它的防抖动技术是通过陀螺仪认知照相全过程中的一瞬间颤动，借助高精密优化算法，测算出马达应做的挪动力度并作出迅速补偿。这些操作都需要在百分之一秒内完成，你获得的图象才不容易由于颤动而变得模糊。

手机相机能带来极大方便快捷，可是应对繁杂的自然环境、多种多样的照相情景，照相又没法防止颤动，好像往前走、跑着、平躺着照相，或是手握手机自拍杆拍照，不管哪一种颤动，凭着微电机特有的五轴防抖动，和迅速、精确操纵的技术性优点，都能展现出更清楚的照片。

4、健身运动跟踪系统软件

在选手的日常训炼中，mems传感器能够用于开展三维身体健身运动精确测量，对每一个姿势开展纪录，教练员们对結果剖析，不断比较，便于提升选手的考试成绩。伴随着mems技术性的进一步发展和提高，mems传感器的价钱也逐步减少，这在群众健身会所中也能够被广泛运用。

在滑雪的时候，三维健身运动跟踪中的液位传感器、瞬时速度感应器、陀螺仪及其GPS能让使用人得到极为精准的观察能力，除开可出示滑雪板的数据网络外，还能够将使用人的所处位置和间距详细记录。在冲浪的时候也是这样，安裝在冲浪板上的三维健身运动跟踪系统，能够对海浪的高宽比、速率、時间、浆板间距、水的温度及其耗费的热量等信息内容进行记载。